普達特科技(00650)公布，已成功向客戶交付一台12英寸高溫硫酸清洗設備，將廣泛應用於28/14/7nm等先進製程的關鍵清洗工藝。公告指，該設備經過前期測試驗證，在技術性能方面均達到對標海外設備，可覆蓋至190℃的高溫硫酸清洗工藝。
另外，普達特科技近期已成功向4家客戶交付5台單片晶圓清洗設備，包括向一家12英寸晶圓代工廠客戶，成功交付一台OCTOPUS設備，用於28nm製程的關鍵清洗道次；向一家12英寸高性能模擬與功率器件客戶，成功交付一台OCTOPUS設備與一台CUBE設備等。
上述成功交付的訂單中，有兩台設備訂單為來自現有客戶的重複訂單。該公司亦獲得一台OCTOPUS設備重複訂單，該設備即將進行交付。上述訂單的收入均暫未確認。
《經濟通通訊社11日專訊》
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